中國(guó)科技大學(xué)合肥微尺度物質(zhì)實(shí)驗(yàn)室導(dǎo)師：劉穎 正文

　　個(gè)人詳細(xì)信息
　　1．個(gè)人學(xué)習(xí)、工作及研究經(jīng)歷1990-1994 長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械學(xué)院 理學(xué)學(xué)士1994-1996 中科院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室1996-2001 中科院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所 理學(xué)博士畢業(yè)2001-至今 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)國(guó)家同步輻射實(shí)驗(yàn)室2009-2010 德國(guó)弗雷德里希•席勒 耶拿大學(xué)（Friedrich Schiller University Jena）應(yīng)用物理研究所 中科院公派訪問(wèn)學(xué)者 2．主要研究方向軟X射線-真空紫外光學(xué) 衍射光學(xué) 微制作技術(shù) 3．代表性科研成果期刊文章（* 通訊作者）：
　　1）Shengnan He，Ying Liu*，Jingtao Zhu，Haochuan Li，Qiushi Huang，Hongjun Zhou，Tonglin Huo，Zhanshan Wang，and Shaojun Fu，"SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50–100 nm wavelength range in Seya–Namioka mount，" Opt．Lett．36（2），163-165 （2011）．
　　2）Shengnan He，Ying Liu*，Keqiang Qiu，Hongjun Zhou，Tonglin Huo，and Shaojun Fu，“Efficiency measurement of optical components in 45-110 nm range at beamline U27，HLS，” Chin．Opt．Lett．8（12），1131-1134 （2010）．
　　3）Ying Liu*，Hans-Jörg Fuchs，Zhengkun Liu，Huoyao Chen，Shengnan He，Shaojun Fu，Ernst-Bernhard Kley，and Andreas Tünnermann，“Investigation on the properties of a laminar grating as a soft x-ray beam splitter，” Appl．Opt．49（23），4450-4459 （2010）．
　　4）Ying Liu*，Xin Tan，Zhengkun Liu，Xiangdong Xu，Yilin Hong，and Shaojun Fu*，“Soft X-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment，” Opt．Express 16（19），14761-14770 （2008）．
　　5）Xudi Wang*，Ying Liu，Xiangdong Xu，Shaojun Fu*，and Zheng Cui，“Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition，” J．Vac．Sci．Technol．A 24（4），1067-1072 （2006）．

　　授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利：
　　1）X射線全息衍射光柵分束器，授權(quán)號(hào) ZL 200810024295．0．
　　2）光柵離子束刻蝕的光學(xué)在線檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，授權(quán)號(hào) ZL 200710020220．0．
　　3）位相型朗奇光柵槽深的光學(xué)檢測(cè)方法，發(fā)明專(zhuān)利，授權(quán)號(hào) ZL 200810021578．x．
　　4）具有刻蝕深度在線檢測(cè)機(jī)構(gòu)的衍射光學(xué)元件掃描刻蝕裝置，授權(quán)號(hào) ZL 200810025255．8．

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